Czystość techniczna wchodzi w skład portfolio oprogramowania ZEN core w obszarze mikroskopii przemysłowej. Aby zoptymalizować klasyfikację cząstek, ZEISS oferuje użytkownikom oprogramowania ZEISS ZEN core analizę czystości technicznej (TCA). To nowe rozwiązanie zawiera trzy moduły przeszkolone za pomocą uczenia maszynowego. System ten wyposażono w funkcję klasyfikacji cząstek na podstawie zmierzonych parametrów przeanalizowanego obrazu. Próbki przechodzą analizę w trzech modułach z możliwością dalszego szkolenia. Analizie próbek z użyciem skali szarości towarzyszy przeszkolony model do klasyfikacji obiektów, który pracuje w tle w nowych szablonach zadań TCA. Równolegle na bazie istniejących wyników pomiarów cząstek sprawdzana jest klasyfikacja typów. Ta dodatkowa kontrola klasyfikacji typów przez algorytmy uczenia maszynowego analizuje wyniki pomiarów cząstek uzyskane podczas klasycznej analizy m.in. rozmiarów, kształtów, natężenia oraz klasyfikacji typów, i łączy te cechy, tworząc dużą liczbę nieskorelowanych drzew decyzyjnych. Ocenę wyników, indywidualnie dla każdego drzewa decyzyjnego, prowadzi model klasyfikacji przeszkolony w zakresie klasyfikacji obiektów. W efekcie następuje automatyczna predykcja typu cząstki.

Można wyodrębniać cząstki na podstawie ich liczby, rozkładu wielkości oraz morfologii, a także odróżniać cząstki metaliczne od niemetalicznych oraz włókien o minimalnym rozmiarze 2 μm. Rozwiązania umożliwiają generowanie raportów czystości zgodnie z normami branżowymi.

Mikroskopia korelacyjna umożliwia charakteryzowanie cząstek krytycznych dla procesu oraz identyfikację tych cząstek dzięki łączeniu danych pochodzących z mikroskopów świetlnego i elektronowego w ramach jednego procesu.

Systemy umożliwiają pomiary właściwości morfologicznych cząstek oraz ich klasyfikację na podstawie składu chemicznego ustalonego przy użyciu zautomatyzowanych funkcji analiz elementarnych. ZEISS SmartPI, oprogramowanie do analizy cząstek dla mikroskopów elektronowych, automatyzuje wykrywanie, analizę i klasyfikację cząstek, łącząc w sobie kontrolę mikroskopową, przetwarzanie obrazów i analizę elementarną.